Attolight定量CL-SEM系统提供大视场快速扫描，并同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。晶圆直径较小，或衬底形状复杂时，可手动加载到300mm中间感受器上，然后仪器将自动进行处理。
Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统可全自动控制150、200和300毫米晶圆，其优点包括：1、晶圆尺寸可达300毫米；2、高效的CL-SEM扫描成像效率；3、电镜成像和光学信号采集同时进行；4、边缘检测和晶圆准确定位（精度优于10µm）；5、自动映射和调整晶圆翘曲度。
特点：Säntis300系统提供3种不同的采集模式，可根据不同的需求和应用进行定制：
•面扫描模式（FWBrush模式）
•线扫描模式（AWPix模式）
•多点扫描模式
工业市场应用：1、GaN及其应用：高强度LED对高发射效率和高可靠性要求较高，如汽车应用中LED故障会危及人身安全；UVCLED要求高发射效率和均匀性，LED故障可危及生命，例如在灭菌和消毒应用中。2、光子学：激光光子学；3、电力电子应用GaN：电力电子应用需要更大功率、更小和更轻的包装，如物联网或汽车应用。4、II-VI族材料：GaAs及其应用如太阳能、电力电子；SiC电力电子；µLED。其他应用举例：微观结构发光二极管（MicroLed）、LED质量控制、GaN中的螺纹位错缺陷计数、碳化硅衬底质量控制。