SEM中EDS分析高空间分辨率和低能端性能。将Extreme电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积SDD高15倍。

• 可对锂元素进行检测和成像

• 加速电压小于2kV时块状样品中的空间分辨率低于10nm

• 在低于1kV加速电压下对材料进行表征

• 与浸没式电镜相配合，可在高达30kV的加速电压下收集高质量的元素信息

Ultim Extreme 硅漂移探测器是高分辨率场发射扫描电镜应用的一个突破，可提供远远超越传统微米和纳米分析的解决方案。

Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款无窗能谱，晶体面积100mm2，经优化设计来尽可能提高灵敏度和空间分辨率。它采用跑道型结构设计，优化高分辨率场发射扫描电镜在低加速电压和短工作距离下工作时的成像和EDS性能，使用Ultim Extreme，EDS的空间分辨率接近扫描电镜的分辨率。

• SEM-EDS联用时的高空间分辨率
  

• 场发射SEM中£10nm元素表征
  
  

• 表面科学
  

• SEM中表面表征
  
  

• 低加速电压下的材料鉴别
  

• 低至1kV加速电压下的材料表征
  
  

• 快速准确的纳米表征
  

• 块状样品快速采集、实时数据处理

• 超轻元素敏感性
  

• 元素探测能力的新高度，如Li、N、O