自动观察自动完成光路调整、扫描参数设定、图像处理

  使用标准样品和标准探针时，自动观察模式操作只需5分钟。扫描范围为1um×1um，256×256点阵。操作时长取决于操作者。

传统的原子力显微镜需要手动调整光路、设定扫描参数、进行图像处理。但是SPM-Nanoa能够帮助用户轻松完成这些操作，性能优异。从光学显微镜到SPM/AFM，都能清晰地捕捉图像。利用光学显微镜搜索目标区域，再利用SPM便捷地进行高分辨率观察。具备与表面形状图像相同的视场，可以获取其他物理特性信息。样品为硅基底上的二氧化硅图案。

丰富多样的扫描模式，从形貌观察到基于力曲线测量的物性分析，支持广泛的扫描模式。这意味着可以同时实现高分辨率与物性测试。

利用清晰的光学显微镜图像，更容易搜寻目标区域，不用担心振动的影响。SPM-Nanoa集成了一体式高性能光学显微镜。能够观察表面物性、极软样品的变形或样品局部的机械及电气性能的差异，都可以获得高分辨率的观测图像。

8K成像助力大范围高分辨扫描，最大可支持8K（8192*8192）扫描点阵，即使在大范围区域也能清晰展现小细节。省时高效支持功能，能够通过高速观察和物性高速成谱功能，显著减少观测时间。探针更换工具和样品更换机构有效缩短了扫描准备时间。高通量观测、高速物性成谱采用了可实现高速响应的HT扫描器并优化了控制算法，大大缩短了观察和物性成像的数据获取时间。

简便顺滑的样品更换，高速物性成谱一键式操作实现自动开启、关闭平台，放置和取出样品。激光的照射位置固定，因此在样品更换后可立即进行观察。