CAMTEK 自动光学检验AOI设备为三维集成电路Camtek灵活平台提供各种技术解决复杂步骤3dic发展和生产的需要。
我们的完全自动化的2d和3d测量和缺陷检测能力覆盖了最先进的产业需求，并解决产业路线图。
该系统包括数据分析工具，可实现过程监控和提高产量。
功能:
• 高容量整片肿块2d和3d检查和计量
• 层厚度测量
• 调整层之间
• 覆盖测量
• 高分辨率CD测量
• 表面相关缺陷检查
• TSVCD测量
• 通过了检验
• 通过揭示/指甲高度和co-planarity测量
• RDL检验和计量技术
• Camtek独特的白光三角测量传感器
• 先进的缺陷检测和计量处理引擎
• 高分辨率三维共焦传感器
• 光干涉测量技术对3d产品
Eagle-APEagle-AP提供2d和3d检验和计量在同一平台上,同时保持极高的性能和吞吐量水平。
EagleT-AP为先进的包装设计市场,EagleT-AP提供了2d和3d检验和计量在同一平台上,同时保持极高的性能和吞吐量水平。
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