F54-XY-200薄膜厚度测量仪能够利用先进的光谱反射系统，快速、轻松地测量大尺寸200x200mm样品的薄膜厚度。电动XY工作台可以自动移动到选择的测量点，并提供每秒两点的快速厚度测量。您可以从数十种预定义的极性、矩形或线性测量坐标图案中进行选择，也可以创建自己不受限制的测量点。这个桌面系统的设置只需几分钟，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。F54-XY-200具有集成的显微镜和实时摄像头，可以精确监控膜厚测量点。小尺寸的测量光斑允许在有图案的样品上进行测量，并可以改善在较粗糙的材料上的测量性能。FILMAPPER软件-测量自动化测绘模式生成器内置的测绘图案生成器使您可以轻松生成测量样品相关区域所需的坐标图案，从而节省数据采集时间。您可以调整的自定义测绘属性包括样品形状、径向、矩形或线性图案的中心和边缘去除点密度。