【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸为120mm x 120mmH，样品台为高强度不锈钢结构，可容纳12个标准钉形样品台，高度可在30mm内调节。蒸镀源为高纯度碳棒，直径为6.15mm。蒸镀控制系统采用微处理器控制，可以实现远程电流/电压感应，最大电流为180A。此外，系统还提供真空安全联锁装置和过流保护。真空范围为Atm-0.001mb，电流范围为0–200A。控制方式可选择自动或手动，同时配备控制数字定时器（1–30秒）和电压设定（0.1to5.5V）。机械泵的抽气速率为2L/s，25-30秒内真空度能下降到0.1mb。工作电压为220V，50/60HZ。此外，还可选配膜厚监控仪，通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，碳厚度可精确到0.1nm，适用配套Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镜。

【产品详情】
Agar全自动喷碳仪是一款来自英国的进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪使用高纯度碳棒，在高倍下能够实现高质量的镀膜效果，方便进行样品的形貌观察以及能谱EDS或EBSD分析。相对于其他喷碳设备，本喷碳仪使用的碳棒真空度要求更高，喷出的碳颗粒更细，并且需要更高的样品加热温度。适用于扫描电镜的样品台、碳棒、膜厚监测仪等都可与该喷碳仪配套使用。