【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH，采用高强度不锈钢结构样品台，可容纳12个标准钉形样品台，样品台高度可在30mm内调节。蒸镀源采用高纯度碳棒，直径为6.15mm，蒸镀控制系统为微处理器控制，支持远程电流/电压感应，最大电流为180A，支持程序化数字控制，配备真空安全联锁装置和过流保护，模拟计量真空范围为Atm-0.001mb，电流范围为0–200A。可通过自动蒸镀控制和手动操作，以及控制数字定时器（1–30秒）和电压设定（0.1to5.5V）实现自动蒸镀控制，还具备自动放气功能。机械泵抽速为2L/s，在25-30秒内真空度可降至0.1mb。工作电压为220V,50/60HZ。膜厚监控仪（选配）通过6MHz石英晶体进行原位监控，可显示纳米级厚度，碳厚度可精确到0.1nm。适用于Zeiss,JEOL,Hitachi,FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜。

【产品详情】
Agar全自动喷碳仪为英国进口设备，操作简便，适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪采用高纯度碳棒，可更容易地在高倍放大下实现高质量的镀膜效果，以便对样品进行形貌观察和进行能谱EDS或EBSD分析。喷碳仪使用的碳棒，相对真空度要求较高，喷碳颗粒较为细小，同时需要样品加热温度较高。支持配套使用样品台、碳棒和膜厚监测仪。