牛津仪器气体注入系统 OmniGIS II
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牛津仪器气体注入系统 OmniGIS II

产品属性

  • 品牌牛津仪器
  • 产地英国
  • 型号 OmniGIS II
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产品描述
新产品OmniGISII是一款气体注入系统,它包含一套单端口的气体源注入系统(GIS)。该系统可以在SEM和FIB中构建纳米结构,达到前所未有的精度、速度和可用性。在扫描电镜或聚焦离子束样品室中,气体注入系统(GIS)直接在样品上引入了可控制的流动气体方案。气体与显微镜的电子束或离子束相互作用,可以在材料表面进行刻蚀或沉积。应用范围包括样品制备和纳米焊接,以及采用直写式光刻技术建立纳米结构,从而实现无掩模纳米图案。OmniGISII是牛津仪器的第二代气体注入系统,具有独特的特性。与同类产品相比,它能使控制水平和准确性达到前所未见的高度。通气口可以自动识别气体源并快速进行气体源更换,同时可以安装三种气体源和另外两种气体。设备采用“流通式”载体的方法能促进高效元素传送并快速处理,并且压力反馈控制会自动调整到大范围真空室压力,以实现高压力下的快速处理或低压力下的高分辨率纳米图案成形。

牛津仪器科技(上海)有限公司

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