技术参数：
大范围高精度扫描探针显微镜 安捷伦5500LS
规格
- 样品台标准真空吸盘尺寸：150mm
- 样品厚度：最多35mm
- 检测区域：150mmx150mm
- 全电动控制光学系统
- 光学分辨率：2μm
兼容性
- 与Agilent 5系列产品系列和所有AC模式兼容
- 与多用途扫描仪兼容
- 与CSAFM、STM和EFM/MFM兼容
- 适用于在空气和液体中成像，包括但不限于生命科学、电化学和腐蚀应用
- 可与温度控制配合（-30°C至250°C）
扫描仪
大型扫描器
- 扫描范围：100μmx100μm
- Z轴范围：7μm
- 垂直噪声：0.5ÅRMS
小型扫描器
- 扫描范围：10μmx10μm
- Z轴范围：2μm
- 垂直噪声：＜0.1ÅRMS
主要特点：
安捷伦5500LS大样品台原子力显微镜能够快速、准确地实现针尖和样品的定位。高精度的电动驱动可帮助您自动准确地定位到感兴趣的区域，并具有记忆功能，可以自动迅速准确地返回到之前每个样品表面成像的位置，有利于进行更深入的研究。同时5500LS具有良好的适用性，在空气、液体和温度控制下成像大尺寸样品。
优势：
- 自动光学缩放与聚焦，操作简便
- 大范围准确定位，分辨率优于2μm
- 150mm真空吸盘（标准），可放置6英寸晶片
- 可提供8英寸大夹具的选件，以适应更大的样品尺寸
应用：
- 半导体：硅晶片、器件
- 数据存储材料：CD、DVD、硬盘等等