技术参数：
大范围高精度扫描探针显微镜
安捷伦5500LS

规格：
-大样品台：标准真空吸盘尺寸：150mm
-样品厚度：最大35mm
-检测区域：150mmx150mm
-全电动控制光学
-光学分辨率：2μm
兼容性：
-兼容Agilent 5系列产品和所有AC模式
-兼容多用途扫描仪
-兼容CSAFM、STM和EFM/MFM
-适用于在空气和液体中成像，包括但不限于生命科学、电化学和腐蚀应用
-温度控制兼容(-30°C至250°C)

扫描仪：
大扫描范围：
- 扫描范围：100μmx100μm
- Z范围：7μm
- 垂直噪声：0.5ÅRMS
小扫描范围：
- 扫描范围：10μmx10μm
- Z范围：2μm
- 垂直噪声：<0.1ÅRMS

主要特点：
安捷伦大样品台原子力显微镜可以快速、准确地实现针尖定位和样品定位。高精度的马达驱动能帮助您自动准确定位到您感兴趣的区域，同时带有记忆功能，可以自动迅速而准确地回到原来每个样品表面成像的位置，便于进行更多的深入研究。同时5500LS能很好地满足大样品在空气、液体和温度控制下成像。

优势：
- 自动的光学缩放与聚焦，使用简单方便
- 大范围内准确定位，分辨率优于2µm
- 150mm真空吸盘（标准），可安放6英寸晶片
- 可提供8英寸大夹具的选件，以适应更大的样品尺寸

应用：
- 半导体：Si晶片、器件
- 数据存储材料：CDs、DVDs、硬盘等等