表面处理仪CPC-12/Plus中试型等离子清洗机CPC-12系列
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表面处理仪CPC-12/Plus中试型等离子清洗机CPC-12系列

产品属性

  • 品牌CIF
  • 产地中国
  • 型号CPC-12/Plus
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产品描述
CIF推出了一款全新一代的CPC系列桌面型等离子体清洗设备,可用于中试生产和模拟生产条件。该设备几乎拥有等离子体清洗设备的所有功能。具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,易于维护,处理快速高效,特别适合于大学、科研院所和光电企业实验室中的小批量中试生产。产品特点包括:可模拟生产条件,方便小批量中试生产;桌面型,占用空间小;性能稳定,操作简便,使用成本低,易于维护,性价比高;有效处理面积大,可处理8寸硅片去胶等应用;可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,并进行清洗和改性。技术参数如下: 型号CPC-12;CPC-12plus;舱体尺寸H120xΦ370mm;H120xΦ370mm;舱体容积12.8L;12.8L;射频电源40KHz;13.56MHz;匹配器自动匹配;自动匹配;射频功率10-300W可调;10-300W可调;气体控制质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路);最大处理尺寸Φ370mm圆盘;产品尺寸L618xW520xH465mm;包装尺寸L750xW640xH570mm;时间设定1-99分59秒;真空泵抽速约8m3/h;气体稳定时间1分钟;真空度100pa以内;电源AC220V50-60Hz。

华仪行(北京)科技有限公司

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