产品特点：

◆ 专用“慢充”控制，提供理想的二氧化碳流体动力学，保护易脆样品；

◆ 配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，更易更换和维护；

◆ 独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌，保证PURGE完整无损样品；

◆ 内部封闭冷却系统，快速降温，缩短操作时间；

◆ 内置SOTER冷凝器，分离废弃气体，降噪；

◆ 独特填块设计，减少二氧化碳消耗和处理时间，兼容不同尺寸晶圆；

◆ 内部过滤系统，最低过滤颗粒尺寸0.08μm；

◆ 处理5片8英寸晶圆，可变样品室尺寸，也可处理其他尺寸晶圆；

◆ 标配多种晶圆样品架和10mm方晶样品架；

◆ 垂直样品室，照明和观察窗；

◆ LCD触屏控制；

◆ 自动运行程序和可保存个性化程序；

◆ 适用于CO2、丙酮和超纯乙醇；

◆ 可重复设置参数和集成自动控温和静态压力控制模块；

◆ 洁净室和防静电设计；

◆ 符合UL、CE和U.S.Military标准；

产品规格：

◆ 外部尺寸：宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm)；

◆ 安装占地尺寸：宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm)；

◆ 样品室尺寸：内径8.5”×深1.25”，容积：1162ml；

◆ LCO2流速可调；

◆ 电压120V/50-60HZ(可选其他)；

标准配件：

◆ 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）3米；

◆ 双T型过滤装置，过滤微小颗粒，预先连接便于安装；

◆ 安装工具；

◆ 防静电排气管，用于排气；

◆ 样品室O型圈3个，LED灯1个，保险丝各2个；

◆ Teflon样品室填块5个，直径为8、6、4、3、2英寸晶圆样品架，10mm方晶样品架各1个；

◆ 用户手册；