产品特点：
◆ 独特设计的专用“慢充”控制系统，可提供理想的二氧化碳流体动力学，保护易碎样品；
◆ 配备外部PURGE后的过滤装置，保护样品，易于更换和维护；
◆ 独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌系统，确保PURGE完整而不破坏样品；
◆ 高效内部封闭冷却循环系统，快速降温，减少操作时间；
◆ 内置SOTER冷凝器，分离废气，消除排气噪音；
◆ 特殊样品室填块，可改变直径，减少液态二氧化碳使用量和处理时间；
◆ 内部过滤系统，过滤最小颗粒达到0.08μm；
◆ 适用于各尺寸晶圆处理，一次最多可处理5片8英寸晶圆；
◆ 配备8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架；
◆ 垂直样品室设计，内含照明和观察窗；
◆ 亮眼的LCD触屏控制；
◆ 内置出厂自动运行程序，并可创建和保存个性化程序；
◆ 表面适用于CO2、丙酮和超纯乙醇；
◆ 可重复设置参数，确保可重复性结果；
◆ 集成自动控温和静态压力控制模块，确保安全运行；
◆ 洁净室和防静电设计；
◆ 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；
产品规格：
◆ 外部尺寸：宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm)；
◆ 安装占地尺寸：宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm)；
◆ 样品室尺寸：内径8.5”×深1.25”，容积：1162ml；
◆ LCO2流速通过微型计量阀门控制；
◆ 120V/50-60HZ（可选其他电压）；
标准配件：
◆ 高压带Teflon内衬的不锈钢LCO2管，长3米；
◆ 双T型过滤装置，过滤微小颗粒，易安装；
◆ 安装工具，防静电排气管，样品室O型圈，LED照明灯，保险丝；
◆ Teflon样品室填块，8、6、4、3、2和1.25英寸直径；
◆ 8、6、4、3、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架，HF兼容；
◆ 用户手册。