产品特性：

- 新配置专用“慢充”控制，保护易脆样品

- 外部PURGE后的过滤装置，方便更换和维护

- 独家专利“VortexSwirl”非机械搅拌，完整PURGE

- 高效冷却循环系统，快速降温，缩短操作时间

- 内置SOTER冷凝器，消除废气排放噪音

- 独特样品室填块，减少液态二氧化碳消耗

- 内部过滤系统，最低颗粒过滤尺寸0.08μm

- 可处理不同尺寸晶圆，节省液态二氧化碳

- 垂直样品室，配有照明和观察窗

- 明亮LCD触屏控制

- 内置自动运行和个性化程序

- 适用CO2、丙酮和乙醇表面

- 确保结果可重复性的参数

- 自动控温和静态压力控制

- 洁净室和防静电设计

- 符合UL、CE和军用标准



产品规格：

- 外部尺寸：宽度19.8”(50.3cm)×深度31.7”(80.6cm)×高度44.5”(113.0cm)

- 安装占地尺寸：宽度27”(68.6cm)×深度38”(96.5cm)

- 样品室尺寸：内径6.5”×深度1.25”，容积679ml

- LCO2流速由微型计量阀门控制

- 120V/50-60HZ(可选其他电压)



标准配件：

- 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）3米

- 双T型过滤装置，过滤微小颗粒

- 安装工具

- 防静电排气管

- 样品室O型圈3个，LED照明灯1个，3A和8A保险丝各2个

- 4个Teflon样品室填块

- 不同尺寸晶圆样品架和方晶样品架各1个

- 用户手册