ST-II型气垫精密光学隔振平台

ST-II型系列隔振平台采用独立膜片气囊，具有卓越的隔振性能。

由于采用气囊结构，有效降低了泄漏的发生，一次充气可使用6至12个月。

广泛应用于光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。

产品数据表

型号Model 台板尺寸(mm) 平台高度（mm） 最大载荷(kg) 孔径 孔距(mm) 支撑腿数量（只）

长度 宽度 台板厚度

ST-II******800 200 M6 2 54

ST-II******800 400 M6 2 54

ST-II-12 812 800 1000 800 800 M6 2 54

ST-II-15 1000 1000 1000 800 800 M6 2 54

ST-II-18 1200 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-20 1200 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-20 1500 1500 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-24 1200 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-24 1500 1500 3000 850 800 M6 2 54

ST-II-30 1200 1200 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-30 1500 1500 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-35 1500 1500 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-40 1500 1500 3000 850 800 M6 2 58

ST-II-50 1500 1500 3000 850 800 M6 2 58

ST-II-60 1500 1500******M6 2 58

主要性能指标：

平台尺寸 2400*1500*800mm

1）平台台面材质：高导磁不锈钢SUS430;加工制造

2）台体总厚度：200mm

3）平台离地高度：800mm

4) 台面平整度：0.05mm/平方米

5）台体底板：大于9mm

6) 台面粗糙度：0.8微米；

7) 孔距：25*25mm；

8）孔径：M6，

9）振幅：＜1.2微米

10） 台体内部结构：材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构，具有高抗强度

最大（变形量）动扰度系数：0.771*10-3-3

11）支撑方式（每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套）

4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊，小孔阻尼,气压稳定平衡，

12) 最大相对位移：0.02μm；

13）固有频率：垂直1.5-2Hz、水平1.8-2Hz；

14）设计最大载负能力：2200kg