ST-II型气垫精密光学隔振平台

ST-II型系列隔振平台采用独立膜片气囊，具有出色的隔振性能。

采用气囊结构，有效减少泄漏，充气一次可使用6-12个月。

广泛应用于光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等不同领域。


产品数据表

型号Model 台板尺寸(mm) 平台高度（mm） 最大载荷(kg) 孔径 孔距(mm) 支撑腿数量（只）

长度 宽度 台板厚度

ST-II******800 200 M6 2 54

ST-II******1000 800 400 M6 2 54

ST-II-1208 1200 800 1000 800 800 M6 2 54

ST-II-1510 1500 1000 1000 800 800 M6 2 54

ST-II-1812 1800 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-2012 2000 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-2015 2000 1500 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-2412 2400 1200 2000 800 800 M6 2 54

ST-II-2415 2400 1500 3000 850 800 M6 2 54

ST-II-3012 3000 1200 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-3015 3000 1500 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-3515 3500 1500 3000 850 800 M6 2 56

ST-II-4015 4000 1500 3000 850 800 M6 2 58

ST-II-5015 5000 1500 3000 850 800 M6 2 58

ST-II-6015 6000 1500******M6 2 58


主要性能指标：

平台尺寸 2400*1500*800mm

1）平台台面材质：高导磁不锈钢SUS430; 加工制造

2）台体总厚度：200mm

3）平台离地高度：800mm

4）台面平整度：0.05mm/平方米

5）台体底板：大于9mm

6）台面粗糙度：0.8微米；

7）孔距：25*25mm；

8）孔径：M6；

9）振幅：＜1.2微米

10）台体内部结构：材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构，具有高抗强度

最大（变形量）动扰度系数：0.771*10-3-3

11）支撑方式（每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套）

4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊，小孔阻尼,气压稳定平衡

12）最大相对位移：0.02μm；

13）固有频率：垂直1.5-2Hz、水平1.8-2Hz；

14）设计最大载负能力：2200kg