仪器简介：

应用： 
◆硅料 
◆太阳能 
◆集成电路制造等

技术参数：

Semilab SDI设备主要用于硅片体内的少数载流子寿命（扩散长）的监测及定量定性检测影响少数载流子的寿命（扩散长）的金属污染（铁、铜等）含量。设备由光路系统、信号分析及处理系统、数据处理系统及自校准系统（设备内建有标准片）组成。

主要特点：

◆SPV(表面光电压)- 硅片表面不需要做钝化处理即可以做少数载流子寿命测试； 
◆Surface Lifetime- 硅片浅层的少数载流子寿命检测； 
◆Surface Recombination – 硅片的表面复合测试； 
◆SPV(表面光电压)- 可测试硅片体内的Fe及B02的含量； 
◆设备的Multiple wafersize 功能可以兼容测试100mm-300mm的硅片及硅棒。