产地:韩国; 品牌:Ecopia
扩散炉、低压化学气相沉积设备(LPCVD)
产地:韩国;
有单管和双管两个不同的型号,用于科研或者小规模生产。
性能和特点:
- 温度范围:500 ~ 1000摄氏度;
- 气体混合能力(带有质量流量计);
- 真空范围:~ 10-6 Torr;
典型应用:
- 无应力氮化硅;
- LPCVD;
- 退火;
- 氧化;
- 其他...
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