产地:德国; 品牌:凯斯安
德国KSI-凯斯安i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统
i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点:- 扫描速度高达2000mm/s- 新型换能器- 高质画面- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能- 能发现只有几微米的缺陷
德Zeiss Sigma电子束直写仪SEM
Sentech集成等离子刻蚀和沉积的多腔系统
德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD
德国Sentech离子刻蚀与沉积机 200 RIE
德Sentech经济型反应离子刻蚀机Etchlab200