产地：； 品牌：
应用：
- 大面积石墨烯（Graphene ）沉积：>150mm wafers
优势：
- zei佳研发用
-低廉的价格
-沉积参数数字化控制
-加热和冷却时间可控
- 气体饱和时间可控
-层层沉积可控（ＡＬＤ模式） 特点：
－高纯度石墨烯生产 －整体集成化过程模组
－先进的过程装备，气体脉冲时间短
－过程控制简单（zei优化的软件）
等离子增强化学气相沉积
原子层沉积系统(ALD&PEALD)
生产型光伏行业专用原子沉积设备
产品描述
