红外快速退火炉 RTP-3-06产品特点

　　高质量部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光。

　　高精度控温：模糊逻辑PID控温，控温精度可达±0.1℃。

　　快速控温：高能流密度红外灯设计，24秒内仪器可快速升温至1150℃；同时，炉体的热容小，配合先进的冷却系统，可实现快速降温。

　　异常报警保护：超温和流量异常时均会自动切断加热，保护炉膛，达到报警的效果。

　　洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用。

　　可扩展性：带观察窗，可配CCD，采集光学信号；预留接口，可加载电学测量模块等。

红外快速退火炉应用功能

　　●   强诱导体薄膜的结晶化退火

　　●   注入离子后的扩散退火

　　●   半导体材料的烧成与退火条件研究

　　●   快速热退火、热氧化和热氮化

　　●   电极合金化

　　●   晶向化和坚化

　　●   石墨烯等气相沉积

　　●   碳纳米管等外延生长

　　●   单晶基板热处理

红外快速退火炉技术参数