快速退火炉RTP-3-04，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

快速退火炉应用案例

l 快速热处理，快速退火，快速热氧化，快速热氮化

l 离子注入/接触退火

l SiAu, SiAl, SiMo合金化

l 太阳能电池片键合

l 电阻烧结

l 低介电材料热处理

l 晶体化，致密化

l 其他热工艺需求

 快速退火炉产品特点

l 可测大尺寸样品  可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸（100mm）。

l 快速控温与高真空  最高升温速率可达100℃/s，真空度最高可达到10Pa。

l 程序设定与气路扩展   最多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。

l 全自动智能控制  采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

l 超高安全系数   采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。

      快速退火炉技术参数