WLI Infra干涉仪

德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性，设计坚固紧凑、免维护，适用于在线测量。

产品特点：

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；

纳米级分辨率；

手动或自动测量步骤设计，简单易用；

不受温度变化和热效应的影响；

极佳的重复性；

可配备表面轮廓测量。

技术参数：

厚度分辨率（nm）             <1

探针大小   （μm）              约150（可定制）

厚度范围   （μm）              0.1-600

仪器尺寸   （mm）             320x320x380

重量          （kg）               120

晶圆夹具                             定制，可达30cm

全自动测量

标准或定制的软件包