产地：日本； 品牌：爱发科
PHI710主要特点：
l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm
在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),
PHI 4700 AES俄歇分析仪
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