产品描述
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.
清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.
上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品特点:
1. 直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器.
2. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小.
3. HVA真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业.
4. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.
5. HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域.
6. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性.
7. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来.
8. 阀门驱动手动、气动可选.
9. 标准或定制法兰满足不同应用.
10. HVA 标准周期真空阀门 21200 系列可任意位置安装.
11. 电磁阀控制并带有手动超控.
阀门材质： | |
阀门主体 | 304不锈钢 |
焊接波纹管轴封 | AM-350 |
驱动轴和驱动销 | 硬质不绣钢 |
密封件 | 氟橡胶 |
真空： | |
压力范围 | 1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）： | |
佛橡胶密封 | 150 °c |
驱动方式 | 手动 60 °c; 气动 60 °c |
使用寿命：1,000,000启闭次数 | |
公称通径：DN16-320 mm |
DN | Model | |
mm | inch | Number |
16 | 0.625 | 21212-006_ |
40 | 1.5 | 21212-015_R |
50 | 2 | 21212-020_R |
63 | 2.5 | 21212-025_R |
80 | 3 | 21212-030_R |
100 | 4 | 21212-040_R |
160 | 6 | 21212-060_R |
200 | 8 | 21212-080_R |
250 | 10 | 21212-100_R |
320 | 12 | 21212-120_R |
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品部件图
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