产品描述
仪器特点：
该仪器拥有2个传感器。SQUID传感器可以检测最\小可能的电流，磁阻传感器可以获得绝\对\最\佳的空间分辨率时，扫描接近的电流。此外，EFI工具可以以惊\人的精\度检测断路开启故障。
仪器参数：
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 | |
短路缺陷定位(SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至\少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 传感器 | |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空间分辨率 (HiRes) | 500nm |
总扫描面积 (HiRes) | At least 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作频率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
Opens断路 | |
断路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作频率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他参数 | |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
应用：
1.解决了所\有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离，当直流电迹可用时，新的软件能够在所\有三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透所\有材料，SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制，只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下，可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术，在检测电流产生的射频磁场时，应用高频信号(20MHz至200MHz)，可以发现故障。
