产地:日本; 品牌:雅马拓
雅马拓 台车搬入式加热·冷却炉 C1-012
雅马拓 洁净厌氧高温气氛炉 C1-008
雅马拓 厌氧高温气氛炉 C1-007
雅马拓 固化炉 C1-006
雅马拓 远红外线加热炉 DIR631C
雅马拓 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C
晶圆固化
特点
N2、Ar两种低氧氛围。
配置进口氧浓度分析仪。
真空箱内套陶瓷纤维炉体,保证低氧浓度的同时,有效隔绝炉内高温。
取得专利的浮动门构造。
密封条水冷构造。
微压差排气安全阀,保证槽内微正压状态安全。
排气管路配置冷却风扇。