产品描述
低温系列，闭环控制高负载大尺寸线性位移台
► 紧凑的设计，外形尺⼨：35 * 35 * 10.5 mm
► 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK
► 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场
► ⾼负载 & ⼤推⼒：2.5 kg & 3 N
► ⼤⾏程：20 mm
► 闭环控制，位置传感达到 0.1 um 分辨率
详细参数
| Linear35-x-Slim | Linear35-x-Slim.ULT | Linear35-x-Slim.UHV | Linear35-x-Slim.ULT.UHV | |
| 底座尺寸 (Footprint) | 35 mm*35 mm | |||
| 高度 (Height) | 10.5 mm | |||
| 重量 (Weight) | 38 g | |||
| 工作环境 (Work Environment) | ||||
| 基础运行环境 (Work Environment) | 温度范围：1.6 – 400 K; 真空度：1E-7 mbar; 最高磁场：18 Tesla | |||
| 极低温 30 mK – 400K (Option 1) | ✔ | ✔ | ||
| 超高真空 2E-11 mbar (Option 2) | ✔ | ✔ | ||
| 材料 (Materials) | ||||
| 主体 (Mainbody) | 纯钛 (Pure Ti) | 铍铜 (BeCu) | 纯钛 (Pure Ti) | 铍铜 (BeCu) |
| 线缆 (Wires) | 磷铜双绞线 (Phosphor Bronze Twisted Paired Wire) 20 cm | |||
| 插针材料 (Pins Materials) | Polyester (Glass Fiber Filled), BeCu | Peek, BeCu | ||
| 插针数目 (Pins) | Driven – 2 pins Sensor – 3 pins | |||
| 运动参数 (Motion) | ||||
| 行程 (Travel Range) | 20 mm | |||
| 最大速度@300 K (Max. Velocity) | ~ 2 mm/s | |||
| 驱动电压 (Drive Voltage) | Max. 200 V | |||
| 最大负载 (Load) | 2500 g | |||
| 最大推力 (Dynamic Force) | 3 N | |||
| 闭环传感 (Closed-loop Sensor) | ||||
| 位置传感器 (Position Encoder) | 电阻传感器 (Resistive Sensor) | |||
| 传感器行程 (Encode Range) | 20 mm | |||
| 分辨率 (Resolution) | ~ 150 nm | |||
| 可重复性 (Repeatability) | 1-2 um | |||
注：低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。 | ||||
关键尺寸图
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