R54电阻率测量仪

高级薄膜电阻率测绘系统

Filmetrics R54是KLA薄膜电阻和导电率测绘系统的新创新。R54是代表了KLA超过45年的电阻测量技术地位的巅峰之作。自从1975年我们台电阻率测试仪问世以来，KLA公司系列产品已经彻底颠覆了导电薄膜得薄膜电阻和厚度的测量方式。

从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要。R54在功能上针对金属薄膜均匀性测绘、离子注入表征和退火特性、薄膜厚度和电阻率测量以及非接触式薄膜厚度测量进行了优化。

系统优势

• 测试点自定义编辑,包括矩形、线性、极坐标以及自定义配置

• 可选多可容纳300毫米圆形或A4（210mm*297mm）样品

• 导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用

• 接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)配置

• 封闭系统便于测量光敏或者环境敏感样品

• 15mm 大样品高度

• 高精度 X-Y 平台

• 业内小的 EC 探头尺寸

应用市场

• 半导体

• 先进封装

• 平板和VR显示

• 穿戴设备

• 化合物半导体

• 太阳能

• 印刷电路

• 导电材料

R54规格参数

R54应用

RsMapper软件:

测量自动化地图模式生成器，内置的地图模式生成器使您轻松生成需要测量的斑点图案样品的相关区域，从而节省了数据采集期间的时间。

这只是您可以使用的一些参数。

进行调整以自定义地图的属性:

• 圆形或正方形地图

• 径向或矩形图案

• 中心或边缘排除

• 点密度