R50电阻率测量仪

FilmetricsR50系列提供两种测量方式：接触式四点探针（4PP）和非接触式涡流（EC）测量。R50能够以1点/秒的速度测量导电膜的电阻率/电导率。电动X-Y载物台可使用通用或定制样品架，适用于最大300mm的样品和200mm的面积。新型的R50系列具有四点探头和涡流探测系统，可测量导电薄层和半导电膜的电阻，X-Y行程可达200mm，支持矩形、线性、极性和自定义配置。自动X-Y平台具有以下功能：

- 100mmx100mm行程

- 200mmx200mm行程（-200型号）

- 100mmZ载物台行程

- 倾斜台，行程+/-5o

- 无限数量的测量样本

RsMapper软件：测量自动化地图模式生成器，内置的地图模式生成器可轻松生成所需测量的斑点图案样品的相关区域，节省数据采集期间的时间。以上只是可自定义地图属性的一些参数：圆形或正方形地图、径向或矩形图案、中心或边缘排除点密度。