产品描述
一、Tergeo等离子清洗机-主要配置：
| 产品型号： | Tergeo | Tergeo Plus |
| 腔室大小： | 内径φ110mm,深度280mm | 内径φ160mm,深度280mm |
| 腔室材质： | 高纯度石英玻璃，相对于派瑞克斯（Pyrex）玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质； | |
| 常用气体： | 空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体； | |
| 气路控制： | 标配两路MFC，可选配三路MFC； | |
| 射频频率： | 13.56 MHz，远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度； | |
| 射频功率： | Tergeo 0~75W连续可调，可选配到150W； Tergeo Plus标配150W，可选配到300W和500W； 射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整； | |
| 程序设置： | 共有20个可设置的程序配方，工作顺序中最多有三个清洁步骤。 | |
| 用户界面： | 7英寸电阻触摸屏，可用手指触摸，无需手写笔。 | |
| 操作方法： | 自动配方执行：自动工作序列执行;手动操作。 | |
二、Tergeo等离子清洗机-主要用途：
【1】清洗纳米级样品；
【2】蚀刻光刻胶，除渣、硅片清洗；
【3】引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封；
【4】PDMS/微流控/载玻片/芯片实验；
【5】改善金属与金属或复合材料的结合；
【6】激活聚合物上的官能团，实现亲水或疏水润湿性，提高粘合强度和可印刷性，促进医疗设备的生物相容性。
三、Tergeo系列等离子清洗机-产品优势：
【1】外部电极的设计提高等离子体的均匀性；
【2】*的等离子体传感器技术，用于定量的等离子体强度测量；
【3】直接/浸入模式和远程/下游等离子体处理模式在一个系统中的应用；
【4】连续和脉冲等离子体可以改变3-4个数量级的清洗速度；
【5】高频13.56MHz rf电源，具有自动阻抗匹配功能。在相同的额定射频功率下，MHz等离子体系统的效率比KHz等离子体系统高很多倍；
【6】先进的过程控制技术；
【7】质量流量控制器(MFC)调节气体输入，而不是手动转子流量计或粗针阀；
【8】先进的数字压力传感器用于精确的压力监测；
【9】全自动化操作，支持20种程序配方；
【10】直观的电阻式触摸屏用户界面；
【11】外部射频电极和石英室可以消除内部金属电极的等离子体系统的金属污染问题；
