作为德国PE公司中国区域代理,裕隆时代向用户提供基于EBIC电子束感生电流技术和EBAC电子束吸收电流分析技术的EFA电性失效分析系统。
最高分辨率下表征样品连接处的性能
亚微米平面分辨率下揭示电路集成
诊断电路结构和其他长期课题,包括电路污染、金属花斑缺陷(pattering defects),电阻互联板(resistive interconnectors)或者电迁移(electro-migration)
直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置,迅速改进从而有效提生产品质量
对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行精准定位
对金属线中由于断裂、腐蚀、电子迁移或者外来颗粒造成的电路阻断进行精准定位
准确识别连接处由于界面污染造成的电阻开路
FIB制样过程中精准定位,为透射电镜做出高质量样品
可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置
在彻底失效前,直接观测栅极氧化层(GOX)和氧化电容器(COX)中的缺陷,并对其精准定位
亚微米分辨率下,精准定位由静电放电(ESD)和过电应力(EOS)导致的氧化物短路
定位过程中,通过低至nW级的电力损耗,可有效保护样品的原始缺陷特征
1欧姆精度下,可对低至100欧姆电阻结构制图
高空间分辨率下绘制电阻图,受限于扫描电镜的 电子束和样品作用体积(interaction volume)
确认电阻和电容中相对标称值的偏离
揭示CMOS的连接、电阻和电容结构中的损坏和失效机理
适用于SEM/FIB的纳米探针样品台
最高达8个纳米探针机器人,用于纳米分辨率下的X,Y,Z轴运动和旋转
可取出的附带原位电器的纳米探针样品台,用于低噪音快速分析
完全的软件集成和软件控制
也适用于光学显微镜
裕隆时代,您明智的选择!
售后服务
裕隆时代拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队,向客户提供完整的实验室解决方案和良好的售后服务。
我们承诺24小时内对客户需求做出反应。
专业勤奋的销售队伍,随时为您提供咨询服务。
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