产品描述
一、Harrick Plasma等离子清洗机真空泵IDP-3 产品特点：
1、采用独立马达与轴承的密封设计；
2、系统运行稳定，低噪声、低振动、低泄漏；
3、与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强；
4、外型尺寸：351x181x140mm
5、电源系统：电压 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
6、适用于小型等离子体设备把氧气作为工艺气体环境；
二、Harrick Plasma等离子清洗机真空泵IDP-3 技术参数：
| 抽速 | 50Hz, 50 l/m, 3 m 3 /hr, 1.8cfm |
| 极限压强 | 2.5X10 -1 torr/3.3X10 -1 mbar |
| 进气口压强 | 低于1 个大气压/0PSI |
| 出气口压强 | 低于1.4 个大气压 6.5PSI |
| 进气口法兰 | NW16KF 法兰 |
| 出气口法兰 | 1/4NDP |
| 工作温度 | -5-45℃/41-113℉ |
| 存放温度 | -20-60℃/41-113℉ |
| 发动机功率 | 0.16 马力/0.12kW |
| 电源 | 单相，-220-240VAC，50-60Hz |
| 转速 | 2600PRM |
| 冷却 | 空气自然冷却 |
| 重量 | 9.5Kg/21Ibs |
| 漏率 | ＜1X10 -6 std-cc/sec |
| 噪音（每 ISO1120） | 55db/A |
| 进气口震动（每 ISO10816-1） | 1.5mm/sec |
| 限制 | 不要接近易腐蚀，易爆物及特殊气体 |
