三维形貌轮廓仪有北京德华公司提供详细配置及技术资料
021-61482080-21/11
型号SPY 型号CF
测量原理 激光全息偏振 激光共焦谐振
测量范围Z 1.8—35mm 1mm
工作距离 15—90mm 4mm
Z轴分辨率 0.4—4um 100nm(选项50nm)
X,Y分辨率 12—35um 1um
测量角度 90°±70° 90°±25°
■粗糙度
■平面度 波面度
■2D/3D轮廓
■单层/多层膜层分析
■外形形貌
■平行 共面性 角度
■几何尺寸
■磨擦断裂分析
■光刻腐蚀分析