为了满足测量微小区域及高精度的需求,安装了“SFT”史上zei优秀的75W高功率X射线管。
快速的对应日益微小化的电子产品,更扩大了X射线荧光镀层厚度测量仪的应用。
可测量元素:原子序数22(Ti)~83(Bi)
X射线源:小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
管电压: 50kV 管电流: 1.5mA Be 窗
滤波器:一次滤波器:Mo 二次滤波器:Co (自动切换)
照射方式:上方垂直照射方式
检测器:比例计数管
准直器:方型:0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圆形:Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
安全性能:样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能
样品图像对焦方式:激光自动对焦
样品观察:彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明
样品平台大小及承重: SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
重量:SFT9300/SFT9350:125kg (不含电脑)
SFT9355:130kg(不含电脑)
修正功能:底材修正、已知样品修正、人工输入修正
测量报告书制作:配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书)
测量能谱与样品图像保存功能
1. 75W高功率X射线管
能够提高X射线的生产效率,实现高精度的测量,有效缩短测量时间,只需过去的1/4
2. 超微小型准直器
除了搭载了标准配置的50μm准直器,还配备了测量微小部位用的15μm准直器
对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸,可以显示在样品画面上
3. 倍率式光学系
可以准确地对微小部分进行对焦,还可以对应各测量点间有高低的样品
4. 实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量
5. 拥有防冲功能
6. 搭载高精度样品平台,更可测量大型线路板(SFT9355)
7. 自动对焦功能
配备激光自动对焦功能,能够准确对焦,提高测量效率。
8. 即时生成测量报告的便捷性
运用搭载的Microsoft Word® Excel® 可以简单轻松得到制作报告。
9. 搭载了高功率X射线管
10. 拥有自动测量软件以及中心搜索软件
11. 搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件 1.可实现高精度几高效率的微小样品检测zei小样品尺寸直径3.5um
2.容易决定微小测量部位
3.影像对焦系统
4.凹凸样品的凹下部位的测量
5.再现性佳