德国FRT测量系统（白光干涉仪）应用于所有类型的表面测量分析。采用一个或多个传感器高精密地测量轮廓，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。适合研究开发和生产质量控制。 仪器使用光学白光色差传感器进行非接触无损伤测量，工作距离大，快速输出2D或3D测量数据。 应用范围：半导体晶片加工检测；钠米刻蚀和操作；MEMS；IC封装；汽车制造系统；复合材料分析；生物分析；磨擦分析；薄膜厚度测量，微细结构分析等。

详细技术参数：

 应用链接： http://oecsh.cn/oecsh/2009-11-28/1259377431d49.html    

测量原理                白光干涉测量

测量物镜    10X      20X        50X

垂直测量范围：  100um  (400um可选)

垂直分辨率：        0.1nm

X,Y测量范围：1.6X1.2mm      0.8X0.6mm     0.32X0.24mm

工作距离：    3.6mm       3.6mm         1.7mm

侧向分辨率：   2.5um        1.25um            0.5um

测量速度快，垂直分辨率可达0.1nm

测量特点：
1、 非接触表面形貌测量。
2、 亚纳米级高分辨率。（sub nanometer）
3、 非常快速三维测量。
4、 能测量高反射、粗糙及复杂结构的表面形貌。