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三维微/纳米成像X射线显微镜(显微CT/纳米CT)是具有超高分辨率的无损伤立体显微成像设备, 其MicroXCT(显微CT),分辨能力达 1µm,NanoXCT(纳米CT),分辨能力 30nm, 可广泛应用于半导体技术、生物医学、先进材料等领域。
Micro-XCT 三维微米成像X射线显微镜(显微CT)分辨能力达 1µm,Nano-XCT三维纳米成像X射线显微镜(纳米CT),分辨能力 30nm
超高分辨率的无损伤立体显微成像