RF等离子源
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RF等离子源

产品属性

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  • 型号2.4"/4.5"
  • 关注度56
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产品描述
美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号。
技术参数：
2.75"(70mm)法兰 水冷 2"wafer
氧源 氮源 氢源
4.5”法兰
6.02"法兰

主要特点：
生长速率4um/h ，6um/h
自动和手动双重控制
水冷

美国SVTA公司中国办事处

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