随着硬盘滑块的尺寸越来越小,复杂性越来越高,提高产量的关键在于实现纳米级的精确度。
Park NX-PTR恰恰具备这样的精确且自动的硬盘滑块测量。
借助NX-PTR系统,极尖沉降测量可实现全自动,带来更高的通量,无论是对于载体、长形条,还是滑块。
实现各类墙角的自动测量与分析。
实现各类缺陷的全自动测量与分析,如表面尖角。
NX-PTR摈弃了常见的非线性Z轴电压信号,而是采用超低噪声Z轴探测器,从而带来无与伦比的形貌高度精度。凭借着行业领先的低噪声Z轴探测器,正向扫描和反向扫描间隙得以降到扫描范围的0.15%以内,甚至可以忽略不计,而这时Z轴形貌信号所无法企及的。
NX-PTR具备极为突出的热稳定性和机械稳定性,从而大大降低热漂移,实现更为精确的测量。一般情况下,横向热漂移率低于100 nm/°C,而垂直热漂移率则低于200 nm/°C。
NX-PTR配有自动化软件,操作起来轻而易举。您只需要选择想要的测量程序,并设定相应的悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数,便可取得多位置分析。此外,Park的用户友好型界面让您能够随意创建自定义作业程序,以便您完全发挥NX-PTR的实力,满足所有的测量需求。创建新的作业程序极为简单,新测量文件创建只需要10分钟,而修改现有的测量文件则不超过5分钟。
• 自动、半自动和手动模式,让您掌控全局
• 各自动程序的可编辑测量方法
• 测量过程实时监测
• 自动分析所获取的测量数据
Park推出的自动探针更换系统让您的自动测量程序可以无缝续航。该系统会根据参考图形测量数据,自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换成功率高达99%,让您无需分心监督探针更换.
Park的自动激光准直系统让您无需输入任何数据,便可持续自动测量。凭借着我们先进的预准直悬臂架,激光在自动更换探针时便已对准悬臂。只需要调整定位旋钮,便可在X和Y轴上任意定位激光光点,达到最佳位置。
创新的离子化系统能够快速有效地消除样品的静电电荷。由于系统能够让阴阳离子保持完美的平衡状态,样品得以处在极其稳定的电荷环境中。同时,对周边区域的污染几乎可以忽略不计,并将样品操作时意外产生静电电荷的几率降到最低。