技术参数

扫描器

XY扫描器

闭环控制XY平板扫描器

扫描范围：100μm x 100μm

50μm x 50μm

25μm x 25μm

20位位置控制和24位位置传感器

Z扫描器

导向强力Z扫描器

扫描范围：15μm

30μm

20位位置控制和24位位置传感器

视场&CCD

同轴光源设计

10倍光学物镜和数码放大

光学物镜视场：840μm x 630μm

CCD：5MP

光学物镜

10X(0.21 NA)超长工作距离镜头的物镜

20X(0.42 NA)高分辨率，长工作距离镜头的物镜

软件

SmartScan

专用系统控制和数据采级软件

智能扫描模式

通过外部程序控制脚本级别(选配)

NXI

AFM数据分析软件

电性能

信号处理

ADC:18通道

ADC通道(64MSPS)

24-bits ADC的X,Y和Z扫描器位置传感器

DAC:12通道

ADC通道(64MSPS)

20bits DAC的X,Y和Z扫描器定位

最大数据量:4096X4096像素

集成功能

3通道数字锁相放大器

探针弹性系数校准(热方法)

数据Q控制

外部信号访问

20个嵌入式舒输入/舒出口

5个TTL输出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias

选项/模式

成像模式

■真正非接触模式

■接触模式

■侧向摩擦力显微术(LFM)

■相位成像

■轻敲模式

电学特性测量

■扫描电容显微镜(SCM)

■导电原子力显微镜

■静电力显微镜(EFM)

■压电力显微镜(PFM)

■扫描开尔文探针显微镜(SKPM/KPM)

■压电力显微镜PFM

一般特性

■磁力显微镜(MFM)

■扫描热感显微镜(SThM)

■力一距离(F-D)曲线

■扫描隧道显微镜(STM)

■力调制显微镜(FMN)

■纳米压痕

■纳米刻蚀

■纳米操控

选项

■样品基座

■具有温控性能的隔音罩

■液体探手

■液池

■温控台

■外部偏置模块

■信号获取模块

运动位移平台

XY行程范围：150mm(200mm选配)

Z行程范围：25mm

XY载台马达位移机械分辨率为1μm,重复率为2μm

Z向马达位移机械分辨率为0.1μm,重复率为1μm

样品基座

样品最大尺寸：150mm(200mm选配)

真空样品吸附