相干散射与光干涉现象相互作用的结果可产生x射线光谱仪衍射。x射线光谱仪衍射图与晶格排列等密切相关，可被用于研究物质结构。入射x射线光子与靶元素的内层电子碰撞，如果光子能量保持不变而只是改变了出射方向，这时的散射作用为相千散射，从能谱图上看，相干散射峰对应于入射光子能量，相干散射由于受物质表面形状等影响较小，常被用来进行形态校正，以在一定程度上补偿形态、粒度等变化对分析结果的影响。

 先进多光束可调系统；

.  RoHS/WEEE 指令元素快速分析； 

.  内标法与基本参数法组成强大定量分析方法群； 

.  内置各类标准样品曲线数据库。

.  高分辨率 SDD 硅漂移探测器； 

.  快速定性分析； 

.  完善的辐射安全防护；