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压电响应力显微镜(PFM):专用于研究压电、铁电材料纳米尺度的压电响应特征。 PFM成像机制: 与电压有关的压电材料的接触力学; 微悬臂的动态性能 表面的机电响应和静电力与PFM信号之间的转换机制 材料内部的电场分布--决定分辨率、畴反转行为、电滞回线机制
高精度步进马达/驱动器
高精度样品X-Y移动平台
CCD高分辨观察显微镜
高分辨CCD观测系统
扫描探针显微镜通用平台系统