MicroNano SPM-I型扫描探针显微镜通用平台系统
这是一套模块化的软硬件开发平台工具系统，适合于由用户组装或合作开发特殊功能的SPM仪器，以及其它纳米测量仪器、扫描设备。
SPM通用平台特点
1. 通用平台的硬件可扩展性
设定统一软硬件接口，便于二次开发和产品升级；
在采集/控制接口部分采用EPP模式并行口采集/控制系统，共提供16路AD、16路DA、32路DI、32路DO和一个可编程三输出时钟信号源；
与特征部分之间采用8线标准接口，和可由用户自己定义的扩展接口；
在主板上，提供8路高压信号接口、功能模块扩展接口，及8路高精度马达控制接口。

2. 通用平台的用户级软件可扩展性
用户级可扩展性不同于普通意义的二次开发，通常的二次开发只提供一些动态库接口，开发方必须全部重新编制一套完整的软件，包括界面、文件系统、数据处理算法、软硬件接口等，而我们独创的用户级软件可扩展性，可以在系统运转的同时，直接在我们的软件基础上进行功能模块的添加、修改和扩充，而不必重新编制一套完整软件，方便而可行。
对于较复杂的部分，我们采用封装和自动模板技术，大大降低对用户软件水平的要求。
同时，每一个模块都是独立的，接口采用我们制定的标准接口方式，而不必开放太多的技术内容，如此就可以妥善保护各方面的知识产权。

3. 通用平台的速度与精度
双AD（12位，可扩展为16位）同步采集，采集速度 >100KHz；
双DA（12位，可扩展为16位）同步发送，发送速度 >200KHz；
高压输出-150V ~ +150V，纹波1.5mV；
由于低噪声AD/DA技术的实现，使得我们独立知识产权的平衡差分放大技术成为可行。有效信号采样精度基本达到20位的精度，同时双通道同步转换速度达到200KHz。

SPM通用平台技术指标
1. 样品台大小：φ10mm
2. 扫描范围：6μm×6μm×1.25μm
3. 在上述范围内有效极限扫描精度：0.03nm×0.03nm×0.006nm
4. 扫描速度：zei大56000 P/S
5. 针尖逼近方式、行程及精度：线动螺纹+自动马达，行程