产品描述
INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得专利的 独特传感器屏蔽，可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 INFICON Edge 是同类产品中体积最小的真空测量仪器。
设计紧凑，节省宝贵的工具空间
易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
