INFICON SKY CDG025D 电容隔片真空计系列的高精度 温度补偿型压力计可以在恶劣的 生产加工环境中提供稳定性能。 高级数字电子元件用于改进 真空计的性能，具有一键调零功能 和设定点调整等易于操作的特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供 优异的零点稳定性， 预期使用寿命长达数百万次压力循环（包括气压突变）。 独特的传感器屏蔽（正在申请专利）用于保护 真空计，使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字 电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度 补偿。 CDG025D 电容隔片真空计为开机后快速稳定 以及从大气气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

CDG025D，CDG025D-S 0.1...1000乇/毫巴

益处

• 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托

• 电源接通后快速稳定

• 暴露于大气压后快速恢复

• 防腐陶瓷传感器

• 卓越的长期信号稳定性

• 温度补偿

• 传感器防污染保护

• 一键调零功能

• 电源范围广

典型应用

• 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

• 数据存储和显示制造设备

• 工业真空设备

• 常规高精度压力测量