SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C，具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的真空应用。

益处

• 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

• 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

• 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移

• 诊断端口便于快速服务与维护

• 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

• 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准

• 合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

• 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

• 化学和腐蚀性真空过程

• 一般薄膜和真空过程

• 作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准

• 符合传递标准，确保测量可追溯性