产地:日本; 品牌:日立
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。
日立FIB-SEMNASFA SU8220观察铈基玻璃磨料
故障分析导航系统 ()日立FIB-SEM SU8220对高岭土的观察
日立三维分析聚焦离子束系统 NX9000
高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
聚焦离子束(FIB)微型采样系统用于STEM分析
日立高新NX9000高精度实时三维分析
2013-09-30 16:31
2013-08-02 11:32