Adgarde 室温磁场探针台（PSM-EM-4）不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

      稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。

      样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品

      能自动控制电磁铁的前后运动和N.S电极方向的转变，并且能精准定位

      最多可安装6个探针臂

      探针臂设置了粗调、微调和360度自由旋转，结合样品座的移动可以扎到样品的任意位置。

      探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内

      CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm

      滑台和样品座均采用真空吸附固定。

      参数和指标

      样品座

      卡盘尺寸 2/4/6/8英寸，可定制

      材质 无氧铜镀金

      样品固定方式 多孔吸附

      滑台

      X-Y移动行程 X-±50mm，Y-±50mm

      移动精度 10μm

      探针臂

      X-Y-Z移动行程 X-13mm，Y-13mm，Z-13mm

      旋转度 360度自由旋转

      移动精度 10μm

      探针臂数量 可安装6个探针臂（左右两边各3个）

      电学线缆 三同轴线缆

      漏电流 100fA

      探针类型 直流探针 

      光学系统

      显微镜放大倍数 10-180倍

      显微镜工作距离 90-100mm

      CCD相机分辨率 3800万像素

      电磁铁组件

      磁铁型号 WDV-60W

      磁场大小 最高0.6T

      磁铁间距 30mm

      极柱直径60mm，标配一副50mm 纯铁极头

      循环水冷却

      可加选件

      屏蔽箱

      直流探针

      样品座

      可选联用设备

      M81同步源和测量模块

      M91快速霍尔测量仪

      155精密I/V源