LE-103PV 激光型椭偏仪(Laser Ellipsometer)

二氧化硅等介质膜的厚度、折射率和消光系数测试

透明材料的光度学测试

测量时间：        100ms-2sec

膜厚测量范围：    2nm-6000nm（基于SiO2）

厚度测试精度：   0.01nm @120nm SiO2 on Si

折射率测试精度：0.0005 @120nm SiO2 on Si

稳定、可自动校准的集成光路

优化设计的156mm多晶和单晶测试平台，方便用户转换单晶和多晶测量

自动变换入射角的设计提高了测试精度，并可实现表面特征雾度（Haze）的测试

采用旋转补偿器测量Psi（0～90°）和Delta（0～360°），可提供更高的测量灵敏度，同时可计算由粗糙表面引起的退偏系数

聚焦微光斑系统优化了反射信号的采集

可集成到在线测量系统，实现快速的在线监控

测试软件兼容PVECS

LE-103PV是Semilab针对光伏市场推出的一款低成本、高集成度的革新型产品，主要应用于测试具有绒面结构的晶体硅减反射膜的厚度和光学特性。测试软件操作简单、界面友好、所使用的光学模型与Semilab全光谱椭偏仪丰富的数据库相兼容，方便用户根据实际测试需求建立专ye的测试菜单。