产品介绍：
新一代的赛默飞世尔科技Helios5DualBeam具有领先的高性能成像和分析性能的Helios5产品系列，经过精心设计，满足了材料科学研究人员和工程师对FIB-SEM的广泛使用需求，即使是最具挑战性的样品。Helios5DualBeam重新定义了高分辨率成像的标准：最高的材料对比度，最简单、最快、最精确的高质量样品制备，用于S/TEM成像和原子探针断层扫描（APT），以及最高质量的亚表面和3D表征。
在基于HeliosDualBeam系列的久经考验的性能上，新一代的Helios5DualBeam进行了改进优化，以确保系统能够处于手动或自动工作流程的最佳状态。
产品参数：
半导体行业技术参数：
Helios5CX Helios5HP Helios5UX Helios5HX Helios5FX
样品制备与XHR扫描电镜成像 最终样品制备(TEM薄片，APT) STEM亚纳米成像与样品制备 SEM着陆电压
20ev-30kev 20ev-30kev
分辨率 0.6nm@15kev 1.0nm@1kev 0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev
STEM分辨率@30kev 0.7nm 0.6nm 0.3nm
FIB制备过程 最大材料去除束流 65nA 100nA 65nA
最终最优抛光电压 2kv 500v
材料科学行业技术参数：
Helios5CX Helios5UX
离子光学 TomahawkHT 离子镜筒 Phoenix
离子束电流范围 1pA-100nA 1pA-65nA
加速电压500V-30kV 500V-30kV
最大水平视场宽度 0.9mm 0.7mm
离子源寿命 1,000hours 1,000hours
电子光学 Elstar超高分辨率场发射镜筒 磁浸没物镜
高稳定性肖特基场发射枪 提供稳定的高分辨率分析电流 电子束分辨率(下限) 0.6nm at 30kV STEM
特点与用途：
Helios5是所有体验级别用户最易使用的DualBeam，操作员培训时间缩短，并且系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。提高了生产率：Helios5和AutoTEM5软件的先进自动化功能，增强的稳健性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作，显着提高样品制备通量。改善时间和结果：
Helios5DualBeam 现在包括FLASH，这是一种调整图像的新概念。传统的显微镜需要操作员每次获取图像时，通过迭代对中仔细调整显微镜。而使用Helios5DualBeam，屏幕上的简单手势将激活FLASH，并自动调整这些参数。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。